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真空機器（Vacuum Technologies)

当社の真空機器は、イオンポンプの発明（1957年）を起源としています。
米・マサチューセッツ州レキシントン及びイタリア・トリノの両工場が長年
蓄積してきた確かな技術を基に、ターボ分子ポンプ、イオンポンプ、そして
ヘリウムリークディテクター、真空計等、幅広い製品を製造開発しております。

真空ポンプ
	ドライスクロールポンプ SH-110, Triscroll300, Triscroll600
	ターボ分子ポンプ V70, V301, V551, V701, V1001, V2KG(2000)
	イオンポンプ VacIon Plus Miniture, 2L, 8L, 20L, 40L, 55L, 75L, 150L, 300L, 500L
	ディフュージョンポンプ（油拡散ポンプ） AX65, Mシリーズ, VHSシリーズ, HSシリーズ
真空ディテクター
	リークディテクター VSシリーズ
真空ゲージ
	ゲージ（真空計） T/C, Pirani, IMG, B/A, UHV
コンポーネント

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