ディフュージョンポンプ（油拡散ポンプ）
AX65, Mシリーズ, VHSシリーズ, HSシリーズ

空冷仕様の小型ポンプＡＸ-65を始め、真空炉に使用される35インチ大型ポンプ等、 バリエーション豊富な製品から用途に応じた最適なポンプを提供いたします。
·	65〜50,000Ｌ/ｓの幅広い排気速度レンジの製品ラインナップから、 システムに最適な一台をお選びいただけます。
·	同サイズで市場最高水準の排気能力を備えたポンプは、システム のサイクルタイムの向上に貢献します。
·	前5種類の中から用途に沿って最良のパフォーマンスを実現できる オイルを選択いただけます。用途に応じて選べる5種類のオイルは、 最良のポンプパフォーマンスを実現させます。
·	ポンプに必要不可欠な高性能トラップおよびバッフルもご用意してあります。

仕様

排気速度		65L/s 〜 50,000L/s
最大到達圧力		5×10-6Pa 〜 5×10-7Pa
最大起動圧力		1×10-1Pa
吸入口		NW50 〜 ISO1000
許容排気ガス種		Air、N2、その他不活性ガス
設置環境温度		5℃　〜　40℃