イオンポンプ
VacIon Plus Miniture, 2L, 8L, 20L, 40L, 55L, 75L, 150L, 300L, 500L

バリアンは、イオンポンプを開発して以来、その主要な技術革新をすべて行ってきました。受け継がれて来た高品質・高信頼性のイオンポンプは世界各国で高い評価を得ており、 現在も、これからも、バリアンはワールドワイドのトップシェアブランドです。
·	0.4〜500L/sの幅広い排気速度レンジの製品ラインナップから、 システムに最適な一台をお選びいただきます。
·	ダイオード、ノーブルダイオード、スターセルの3種類の中から システムの排気ガス種に応じて選択し、それぞれ最高の排気 性能を引き出すことができます。
·	コントローラ4種から、用途に応じて適切な1台をお選びいただけます。
·	TSP（チタンサプリメーションポンプ）搭載が可能で、極高真空を必要と する表面分析等のアプリケーションにも対応します。 （150L/s〜500L/sポンプのみ）

仕様

排気速度		0.4L/s 〜 500L/s
最大到達圧力		1×10-9Pa
1×10-4Paの場合の   動作寿命		50,000時間 〜 80,000時間
最大起動圧力		1×10-1Pa
吸入口		1.33CF 〜 8CF
許容排気ガス種		Air、N2、その他不活性ガス
設置環境温度		5℃　〜　40℃