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ターボ分子ポンプ
V70, V301, V551, V701, V1001, V2KG(2000)
「最小のコストサイズで最高の性能を!」 これが弊社のターボポンプ設計コンセプトです。長年培ってきた真空技術により、あらゆる点で最高性能を実現しています。
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70〜2000L/sの幅広い排気速度レンジの製品ラインナップから、 システムに最適な一台をお選びいただけます。
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1800Pa域の極めて高いフォアライン圧力に対応していますので、 粗引きポンプの選択肢が広がります。
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堅牢で軽量な一体型ローター構造の開発・成功はポンプの 寿命を飛躍的に向上させ、長時間の連続稼動を可能にしました。
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360度、どの方向に対して取り付けても問題なく稼動し、設置場所を 選びません。
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メンテナンスフリーで、システムのダウンタイムを最小限に押さえられます。
仕様
排気速度
70L/s 〜 2000L/s
最大到達圧力
2×10
-8
Pa(推奨油回転ポンプ使用時)
最大フォアライン圧力
1800Pa
吸入口
ISO 63 〜 ISO 250、CF2.75 〜 CF12
許容排気ガス種
Air、N
2
、その他不活性ガス
設置環境温度
5℃ 〜 40℃
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